Thermo Scientific ExSolve DualBeam (FIB-SEM) je sistem za pripremu vafera za analizu na transmisionom elektronskom mikroskopu (WTP). On značajno smanjuje troškove i povećava brzinu pripreme uzoraka, čime proizvođačima poluprovodnika i proizvođačima uređaja za skladištenje podataka omogućava brz i lak pristup analizama potrebnim za nadgledanje i verifikaciju performansi procesa. ExSolve DualBeam može pripremiti TEM lamelu sa specifične lokacije na uzorku, uzorkujući mnoge lokacije po vaferu u potpuno automatizovanom procesu koji se odvija unutar fabrike. Ovo daje proizvođačima poluprovodnika mnogo više informacija od konvencionalnih metoda, dok se istovremeno smanjuju kapitalni troškovi pripreme uzorka i do 70 posto.
ExSolve WTP DualBeam
