Thermo Scientific Helios 5 EXL DualBeam je skenirajući elektronski mikroskop sa fokusiranim jonskim snopom (FIB-SEM) za vafer u punoj veličini od 300mm, koji je dizajniran da odgovori na izazove pripreme uzoraka za transmisioni elektronski mikroskop (TEM) u industriji poluprovodnika. Helios 5 EXL DualBeam može da pripremi uzorke za trenutno najnaprednije tehnologije uključujući „gate-all-around“ i najsitnije delove kola izmedju dva elementa (node) ispod 5 nm.
